1、首先要对密封件的气密性进行检验，看其是否严密，防止由于密封件不严导致水分渗入和六氟化硫气体泄漏。还需注意的是在实际运行中的六氟化硫断路器，应定期测量六氟化硫气体含水量，新安装或大修后应三个月测量一次，待含水量稳定后可每年测量一次，灭弧气窒含水量应小于300ppm，其它气窒小于500ppm。
  2、其次要控制好六氟化硫断路器中新气的含水量。当设备完成安装后，需进行充装六氟化硫气体，新气体充装前，应依据相应的质量标准对其进行验收检验。

应尽量避免在进行充气操作时带入水分。充气之前，要对新气体气瓶的压力进行检查，看其是否符合出厂要求，然后再对所有管路进行清洗，接头处可使用电吹风进行加热驱潮。充气时应先将气瓶的控制阀门拧开，并把连接管用六氟化硫气体冲一下，随后将其与断路器连接。充气后六氟化硫断路器气室中的气压要尽量高于实际要求值。